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合作案例

清華大學(xué)采購(gòu)PLUTO-T等離子清洗機(jī) 清華大學(xué)調(diào)研了眾多等離子表面處理設(shè)備，最終選擇了上海沛沅生產(chǎn)的Pluto-T等離子清洗機(jī)/表面處理機(jī)。根據(jù)客戶(hù)的技術(shù)要求，提供了可以滿(mǎn)足老師所有技術(shù)參數(shù)要求的Pluto-T等離子清洗機(jī)/表面處理機(jī)，以下為該設(shè)備的安裝調(diào)試圖。
上海交大采購(gòu)PLUTO-MC沉積鍍膜設(shè)備 2020年12月，上海交通大學(xué)采購(gòu)我司PLUTO-MC沉積鍍膜設(shè)備。該設(shè)備采用13.56MHz射頻，涂覆面積為150*150mm，具備良好的穩(wěn)定性與可重復(fù)性。
電子科技大學(xué)采用Pluto-MD等離子去膠機(jī)進(jìn)行晶圓去膠電子科技大學(xué)已采購(gòu)多臺(tái)等離子設(shè)備，包括PLUTO-T等離子清洗機(jī)，PLUTO-MD等離子去膠機(jī)等，用戶(hù)反饋良好。主要涉及的應(yīng)用有：晶圓光刻膠的去除、電子半導(dǎo)體樣品表面有機(jī)物的去除、多功能微納結(jié)構(gòu)寬帶吸收器的表面處理等等。

新聞中心

企業(yè)新聞| CORPORATE NEWS

: 小型等離子清洗機(jī)將在未來(lái)發(fā)揮更加重要的作用

小型等離子清洗機(jī)的核心在于利用等離子體的高能量狀態(tài)，通過(guò)電離氣體(如氬氣、氧氣、氮?dú)獾?產(chǎn)生等離子體。這些等離子體包含大量的電子、離子、自由基等活性粒子，它們與...
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技術(shù)文章| Technical articles

: 國(guó)產(chǎn)等離子清洗機(jī)：技術(shù)進(jìn)步與市場(chǎng)優(yōu)勢(shì)

隨著科技的不斷進(jìn)步，清洗技術(shù)在工業(yè)制造和科研領(lǐng)域的重要性日益凸顯。等離子清洗機(jī)作為一種高效、環(huán)保的表面處理設(shè)備，近年來(lái)受到了廣泛關(guān)注。本文將詳細(xì)闡述國(guó)產(chǎn)等離子清洗機(jī)相比之前的優(yōu)點(diǎn)，并解釋其背后的技術(shù)原理和應(yīng)用前景。一、技術(shù)創(chuàng)新與性能提升1.先進(jìn)的能量轉(zhuǎn)換技術(shù)國(guó)產(chǎn)等離子清洗機(jī)采用了先進(jìn)的能量轉(zhuǎn)換技術(shù)，通過(guò)電能激發(fā)氣體，形成高活性的等離子體。這些等離子體能輕柔沖刷樣品表面，改變分子結(jié)構(gòu)，達(dá)到超清洗的效果。這種技術(shù)不僅提高了清洗效率，還避免了對(duì)樣品表面的損傷，確保了材料的完整性和功...
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應(yīng)用案例

01 等離子清洗
等離子清洗特點(diǎn)是不分處理對(duì)象的基材類(lèi)型，均可進(jìn)行處理，對(duì)金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料等都能很好地進(jìn)行超清洗。

圖為PLUTO-T等離子清洗機(jī)對(duì)陶瓷基板上銀氧化層的清洗實(shí)例。
02 等離子去膠
等離子清洗機(jī)可用于晶圓或者電路板表面的光刻膠去除，以及去除光學(xué)元件、半導(dǎo)體元件表面的光阻材料等。

圖為PLUTO-MD等離子去膠機(jī)對(duì)PCB板和硅片的去膠實(shí)例。
03 等離子活化改性
改善粘合力-用于光學(xué)元件、生物醫(yī)學(xué)、封裝領(lǐng)域等；
表面改性-用于高分子材料表面修飾、PDMS微流控芯片鍵合、玻璃等，增強(qiáng)表面粘附性、浸潤(rùn)性、相容性；

圖為PLUTO-M對(duì)線(xiàn)路板、橡膠管和手機(jī)膜的表面改性實(shí)例。
04 等離子刻蝕
等離子刻蝕是干法刻蝕中常見(jiàn)的一種形式，其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體，電離氣體原子通過(guò)電場(chǎng)加速時(shí)，會(huì)釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。

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